大直径，复杂腔道一体成型，平面度高

这款环形晶圆吸盘可用于转运和加工200 mm的晶圆片，材料具备耐腐蚀和电绝缘特性, 平面度在100 µm以内，内部包含一体成型制造的复杂气体腔道，满足真空使用环境中气密性要求，为晶圆吸盘设计开辟了新的思路。

参数：

• 用途：晶圆片加工与转运

• 材质：99.8 %氧化铝

• 重量：280克

• 尺寸[长*宽*高]：250x200x3.5 mm

• 技术：SLA

• 特点：封闭/连续内部气道，长120 mm

• 优势：复杂气道，高致密度，定制标签，一体成型。